オックスフォード・インストゥルメンツは、産業用・研究用の高度な技術ソリューションを開発・製造し、グローバルに販売・サポートを展開しています。次世代半導体・新世代通信・高機能材料・ヘルスケア・ライフサイエンス・量子技術・宇宙科学などアプリケーションは非常に幅広く、よりグリーンな世界の早期実現をめざす様々なプロジェクトに当社のコア技術が採用されています。
本企業展示ではナノメートルスケールでの材料特性評価とマニピュレーションを実現する最先端の電子顕微鏡用分析機器をご案内します。電子顕微鏡（SEMおよびTEM）、イオンビームシステム（FIB）で使用される当社のツールは、半導体、再生可能エネルギー、鉱業、金属学、法科学など、幅広い学術用途、産業用途における研究開発に利用されています。

■AZtecLiveエネルギー分散型X線分析システム(EDS)
電子顕微鏡用の元素分析システムです。業界最大級のセンサーサイズを持つUltimMax大面積SDD検出器と新設計高速パルスプロセッサにより、業界初のX線ライブイメージングを実現しました。低エネルギー検出に特化したUltimExtremeウィンドウレスSDDは極低加速電圧下での分析やLi化合物の分析でこれまでのEDS分析の枠を超えた質の高い分析を提供します。
https://nano.oxinst.jp/products/azteclive

■AZtecWave波長分散型X線分析システム(WDS)
電子顕微鏡に搭載し、優れたスペクトル分解能と微量元素検出能力で元素分析が可能です。EDSと同じくAZtecプラットフォームのAZtecWaveは操作性を重視した設計で、初心者の方から熟練されたお客様まで、正確な分析を簡単な操作で実現します。EDSと組み合わせた組成分析に加え、WDSスキャン機能によって、微量元素でも見逃すことはありません。
https://nano.oxinst.jp/aztecwave

■AZtecHKL結晶方位解析システム(EBSD)
Symmetry S2は業界初CMOS技術搭載のEBSD検出器です。高感度CMOSセンサーシステムを搭載し、ナノメートルからマイクロメートルスケールでの高精度・高速分析を実現します。さらに新しくなったEBSDデータ解析ソフトウエアAZtecCrystalで複雑な結晶試料でも正確な結果をご提供します。
https://nano.oxinst.jp/products/aztec/aztechkl